光栅尺

材料

B270i、K9、SUS304等

面形

平整度＜2um

平行度＜2um

光刻图案精度

±1um

外形加工精度

±0.05mm

同心度

≤0.05mm

加工长度

≤300mm

光栅尺，也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。按照制造方法和光学原理的不同，分为透射光栅和反射光栅。